BROCKMANN, Christian,BROCKMANN, Christian,FREITAG, Thomas,FREITAG, Thomas,KNOPF, Christoph,KNOPF, Christoph
申请号：
DEDE2016/000432
公开号：
WO2017/097283A1
申请日:
2016.12.08
申请国别(地区):
WO
年份:
2017
代理人:
摘要：
Der halbkugelige Elektrodenkopf (1) weist zwei Arbeitsflächen (12, 13) im Sinne einer real bipolaren Elektrode auf. Diese können beispielsweise lithographisch auch in komplizierten Umrissen erzeugt werden. Dargestellt sind Arbeitsflächen (12, 13), die als in ebener Projektion kreisringsektorförmige, konzentrisch angeordnete Zonen strukturiert sind. Im Zentrum liegt zudem eine weitere, in ebener Projektion kreisscheibenförmige Zone. Das Plasma wird dabei alternierend an beiden Polen (12, 13) gezündet. Liegen die einzelnen konzentrischen Zonen nahe genug beieinander, entsteht dennoch eine durchgängige Plasmaschicht.The invention relates to a hemispherical electrode head (1) comprising two working surfaces (12, 13) within the sense of a true bipolar electrode. These can, for example, also be produced lithographically in complex shapes. Depicted are working surfaces (12, 13) designed, in a planar projection, as annular sector-shaped concentric zones. A further zone that is circular disc-shaped in a planar projection additionally lies in the centre. The plasma is ignited alternately at both poles (12, 13). When the individual concentric zones lie close enough to one another, a continuous plasma layer is achieved.Linvention concerne une tête délectrode hémisphérique (1), qui présente deux surfaces de travail (12, 13) au sens dune électrode réellement bipolaire. Celles-ci peuvent être produites par exemple par lithographie, également en des contours compliqués. Les surfaces de travail (12, 13) sont structurées en tant que zones concentriques en forme darc de cercle en projection dans le plan. Une autre zone en forme de disque circulaire en projection dans le plan se trouve en outre au centre. Le plasma est alors amorcé alternativement aux deux pôles (12, 13). Si les différentes zones concentriques sont suffisamment près lune de lautre, on obtient cependant une couche de plasma continue.
