一种增强聚酰亚胺基底和导电金属层之间的粘附力的方法
- 专利权人:
- 中国科学院深圳先进技术研究院
- 发明人:
- 孙滨,闫醒阳,吴天准
- 申请号：
- CN201610716039.2
- 公开号：
- CN106315505A
- 申请日:
- 2016.08.24
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供了一种增强聚酰亚胺基底和金属层之间的粘附力的方法，所述方法是通过在聚酰亚胺薄膜表面构筑微纳结构，使得聚酰亚胺薄膜与金属导电层之间的粘附力得到很大提高，在后续的工艺中聚酰亚胺基底和Ti/Pt金属导电层之间不易剥离脱落，保证了微电极阵列的长期有效稳定植入。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
