一种芯片生产用除尘装置
- 专利权人:
- 上海芯强微电子股份有限公司
- 发明人:
- 张益铭
- 申请号：
- CN201920796637.4
- 公开号：
- CN210207925U
- 申请日:
- 2019.30.05
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本实用新型公开了一种芯片生产用除尘装置,包括横板,所述横板的底部外壁四角均设置有支撑腿,且支撑腿的底部外壁均固定有移动机构,两个支撑腿的一侧外壁设置有同一个支撑板,所述横板的顶部外壁设置有吸尘机构,且横板的底部外壁焊机有粉尘处理箱,所述粉尘处理箱的底部外壁和两个支撑板的一侧外壁均设置有吸尘罩,且粉尘处理箱的底部内壁放置有毒气处理机构,所述粉尘处理箱的内壁两侧设置有同一个活性炭吸附层。本实用新型通过设置有支撑板和吸尘罩,同时在左右两侧和装置的顶部均设置有吸尘罩,可以同时对这三个方位进行吸尘操作,可有效提高装置的吸尘效率,有效防止残留的细微药物粉尘对操作人员的危害。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
