PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric device capable of efficiently and largely deforming a membrane, an ultrasonic probe, and a manufacturing method of a piezoelectric device.SOLUTION: An ultrasonic transmission/reception part 5 as a piezoelectric device in an ultrasonic probe of the present invention includes a circular membrane 6 having a laminated thin plate-like piezoelectric member 62, and electrodes. The electrodes include two or more sets of a pair of first electrodes 63 and 65 and a second electrode 64 provided on the piezoelectric member 62 so as to generate stress opposite to each other accompanying application of voltage respectively to a first area 68 and a second area 69 of the piezoelectric member 62.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】本発明は、メンブレンを効率良く大きく変形させることができ圧電デバイスおよび超音波探触子並びに圧電デバイスの製造方法の提供を目的とする。【解決手段】本発明の超音波探触子における圧電デバイスとしての超音波送受信部5は、積層された薄板状の圧電部材62を有する円形状のメンブレン6と、電極とを備えている。電極は、圧電部材62の第1領域68と第2領域69とに夫々電圧の印加に伴い互いに逆向きの応力が発生し得るように、前記圧電部材62に設けられた複数組の一対の第1電極63、65及び第2電極64を備えている。【選択図】図5
