To reduce a load possibly generated to a connecting member for connecting respective units while down-sizing the respective units by constituting an apparatus of a plurality of units.SOLUTION: An examination apparatus is constituted of a first measurement unit arranged to face an article to be examined, a second measurement unit connected to the first measurement unit through at least one connecting member, driving means for driving the second measurement unit relative to the article to be examined, and control means for controlling the driving means in accordance with the movements of the first measurement unit relative to the article to be examined.SELECTED DRAWING: Figure 1a【課題】装置が複数のユニットで構成されることにより各ユニットを小型化しつつ、ユニット各々を接続するための接続用部材に対して生じる可能性がある負荷を低減する。【解決手段】検査装置において、被検査物に対向して配置される第１測定ユニットと、少なくとも１つの接続用部材を介して第１測定ユニットと接続される第２測定ユニットと、被検査物に対して第２測定ユニットを駆動する駆動手段と、被検査物に対する第１測定ユニットの移動に応じて駆動手段を制御する制御手段と、より構成する。【選択図】図１ａ
