PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a corpuscular-ray beam irradiation apparatus that can be prevented from stopping beam irradiation due to erroneous information such as electric discharge.SOLUTION: The corpuscular-ray beam irradiation apparatus includes: a beam generation part for generating a corpuscular-ray beam a beam scanning part for two-dimensionally scanning the generated corpuscular-ray beam according to a scan indication value a sensor part which detects the scanning position of the corpuscular-ray beam, and in which first linear electrodes of a plurality of channels are placed in parallel in a first direction and second linear electrodes of a plurality of channels are placed in parallel in a second direction orthogonal to the first direction a median processing part for calculating a median from the values of a plurality of signals output from the first and the second linear electrodes a center of gravity position calculation part for calculating the position of the center of gravity of the corpuscular-ray beam from the calculated median of the plurality of signals and a control part for stopping the emission of the corpuscular-ray beam when an error between the calculated center of gravity position and a preset reference scanning position is larger than a predetermined value.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】放電等の誤情報によるビーム照射の停止を防止することができる粒子線ビーム照射装置を提供する。【解決手段】本実施形態の粒子線ビーム照射装置は、粒子線ビームを生成するビーム生成部と、生成された前記粒子線ビームを走査指示値に従って2次元走査するビーム走査部と、前記粒子線ビームの走査位置を検出するセンサ部であって、複数チャネルの第1の線状電極が第1の方向に並列配置され、複数チャネルの第2の線状電極が前記第1の方向と直交する第2の方向に並列配置されるセンサ部と、前記第1及び第2の線状電極から出力される複数の信号の値からメディアンを求めるメディアン処理部と、求めた前記複数の信号のメディアンから前記粒子線ビームの重心位置を算出する重心位置算出部と、算出された前記重心位置と予め設定された基準走査位置との誤差が所定値よりも大きいときは、前記粒子線ビームの出射を停止させる制御部と、を備えたことを特徴とする。【選択図】 図2
