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誘電体バリアプラズマ処理のための電極機構
专利权人:
シノギー・ゲーエムベーハー
发明人:
トルトビグ、レオンハルト,ハーンル、ミルコ,ストーク、カール-オット,バンドケ、ディルク,コップ、マティアス,ストーク、カール-オット
申请号:
JP2018504102
公开号:
JP2018533813A
申请日:
2016.09.26
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要:
A flexible planar electrode (1) and a dielectric (2) made of a planar flexible material that shields the electrode (1) from the surface to be treated by a layer (3) that prevents direct current flow An electrode mechanism for dielectric barrier plasma treatment of the surface of a conductive object used as a counter electrode, wherein the dielectric (2) is applied to the surface to be treated through the structure having protrusions In what can be mounted, in which an air space for the formation of a plasma is formed between the respective projections, the structure delimits a number of chambers (9) forming the air space, each other A grid structure (6) consisting of adjoining walls (7, 8), the chamber (9) being closed on the bottom side by a layer (3) of dielectric (2) which prevents direct conduction, and treatment Open side towards the surface to be , The production of which is possible in particular by the fact that their contact surface with the surface to be treated consists of the end edge (10) of the wall (7, 8) of the grid structure (6) Is improved.柔軟な平面状の電極(1)と、直接的な通電を妨げる層(3)によって電極(1)を処理されるべき表面から遮蔽する、平面状の柔軟な材料からなる誘電体(2)とを有する、カウンター電極として利用される導電性の物体の表面の誘電体バリアプラズマ処理のための電極機構であって、誘電体(2)は突起を有する構造体を介して処理されるべき表面に載置することができ、その際にそれぞれの突起の間にプラズマの形成のための空気スペースが構成されるものにおいて、構造体が、空気スペースを形成する多数のチャンバ(9)を区切る、互いに接し合う壁部(7,8)からなる格子構造体(6)であり、チャンバ(9)は直接的な通電を妨げる誘電体(2)の層(3)による底面側の閉鎖部と、処理されるべき表面に向かって開いた側とを有しており、処理されるべき表面とのその当接面は格子構造体(6)の壁部(7,8)の端部エッジ(10)からなっていることによって、特に製造可能性が改善される。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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