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金属酸化物、及び当該金属酸化物を有する半導体装置
专利权人:
株式会社半導体エネルギー研究所
发明人:
山崎 舜平,中島 基,馬場 晴之
申请号:
JP20170134344
公开号:
JP2018014494(A)
申请日:
2017.07.10
申请国别(地区):
日本
年份:
2018
代理人:
摘要:
【課題】新規な金属酸化物を提供する。または、半導体装置に良好な電気特性を付与する。【解決手段】複数のエネルギーギャップを有する金属酸化物であって、金属酸化物は、伝導帯下端のエネルギー準位が高い第1の領域と、第1の領域よりも伝導帯下端のエネルギー準位が低い第2の領域と、を有し、第2の領域は、第1の領域よりもキャリアが多く、第1の領域と、第2の領域との伝導帯下端のエネルギー準位の差が0.2eV以上である。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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