And detects foreign matter or the like existing in the object with high resolution and high reliability. Frame data of a plurality of fault plane parallel to the scanning direction set in the space between the X-ray tube 31 and the X-ray detecting device 22 are created based on the detected frame data. This preparation is performed in accordance with the enlargement of the fan shape of the X-ray beam and the difference in position in the height direction from the detection faces on the plurality of single layers. From the frame data of a plurality of fault plane images, a fault image is generated based on the lamination method. Edge information corresponding to a change in pixel value on each single layer is calculated for each pixel, and a three-dimensional distribution of the edge information is created. This edge information is searched in a direction passing through a plurality of fault faces. As a result of this search, a pixel indicating the maximum value of the edge information is detected, and only a plurality of pixels on the single layer corresponding to the detection pixel positionally are synthesized into one composite image.대상물 안에 존재하는 이물 등을 보다 고 분해능으로, 또한, 높은 신뢰성으로 검출한다.X선관(31)과 X선 검출 장치(22) 사이의 공간에 설정된, 스캔 방향에 평행한 복수의 단층면의 프레임 데이터가, 검출된 프레임 데이터에 근거해 작성된다. 이 작성은, X선 빔의 팬상(Fan shape)의 확대와 복수의 단층상의 검출면으로부터의 높이 방향의 위치의 상이에 따라 수행된다. 복수의 단층면의 프레임 데이터로부터 라미노그래피 법에 근거해 단층상이 각각 작성된다. 이 각 단층상에서의 화소치의 변화에 따른 엣지 정보가 화소 마다 연산되고, 그 엣지 정보의 3차원 분포가 작성된다. 이 엣지 정보가, 복수의 단층면을 관통하는 방향으로 탐색된다. 이 탐색의 결과, 엣지 정보의 최대치를 나타내는 화소가 검출되고, 그 검출 화소에 위치적으로 대응하는, 복수의 단층상의 화소 만이 1매의 합성 화상으로 합성된다.
