PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a capacitive transducer device dispensing with a high-voltage direct current bias voltage when receiving ultrasonic waves and dispensing with a charge amplifier and an impedance conversion.SOLUTION: A capacitive ultrasonic transducer device includes: a capacitive ultrasonic transducer (cMUT) obtained by processing a silicon substrate by using a silicon micromachining technique and an oscillator circuit having the cMUT as a capacitor, and outputting a frequency modulation signal by modulating a frequency of an oscillation signal to be output on the basis of a change of capacitance of the cMUT.COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT【課題】本発明は、超音波受信時に高電圧の直流バイアス電圧を必要とせず、さらにチャージアンプやインピーダンス変換も必要としない静電容量型トランスデューサ装置を提供する。【解決手段】本発明にかかる静電容量型超音波トランスデューサ装置は、シリコンマイクロマシーニング技術を用いてシリコン基板を加工した静電容量型超音波トランスデューサ(cMUT)と、キャパシタとして前記cMUTを構成要素とし、該cMUTの静電容量の変化に基づいて、出力する発振信号の周波数を変調させて周波数変調信号を出力する発振回路と、を備えることにより、上記課題の解決を図る。【選択図】 図3
