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容量型電気機械変換装置、及びその感度調整方法
专利权人:
キヤノン株式会社
发明人:
藤井 一成,秋山 貴弘,加藤 綾子
申请号:
JP2009189613
公开号:
JP5511260B2
申请日:
2009.08.19
申请国别(地区):
JP
年份:
2014
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique for adjusting output signals for the elastic waves of a capacitive electromechanical transducer device such as a CMUT (Capacitive-Michromachined-Ultrasonic-Transducer) by working.SOLUTION: A capacitive electromechanical transducer device 100 includes cells 102 each of which includes a first electrode 104 and a second electrode 106 disposed facing the first electrode 104 across a gap 105. In the capacitive electromechanical transducer device 100, at least one cell 102 has a worked part 102 on which the working of at least one of the addition and removal of a material is performed.COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT【課題】CMUTなどの容量型電気機械変換装置の弾性波に対する出力信号の調整などを加工により可能とする技術を提供する。【解決手段】容量型電気機械変換装置100は、第1の電極104と、第1の電極104と対向し空隙105を隔てて配設された第2の電極106とを備えるセル102を有する。容量型電気機械変換装置100において、少なくとも1つのセル102は、物質の付加と除去のうちの少なくとも一方の加工が施された加工部102を有する。【選択図】図2
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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