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DISPOSITIF DE TRAITEMENT AU PLASMA
专利权人:
Cinogy GmbH
发明人:
WANDKE, Dirk,HAHNL, Mirko,STORCK, Karl-Otto,TRUTWIG, Leonhard,RICKE, Melanie
申请号:
EP18743675.3
公开号:
EP3656189A1
申请日:
2018.07.05
申请国别(地区):
EP
年份:
2020
代理人:
摘要:
Ein Plasma-Behandlungsgerät zur Durchführung einer elektrisch behinderten Plasmaentladung mit einer eine Behandlungsseite (5) aufweisenden Elektrodeneinheit (1) und einer Versorgungseinheit (10), mit der die Elektrodeneinheit (1) mechanisch verbindbar und elektrisch kontaktierbar ist, um mit einer für die Plasmaerzeugung benötigte Versorgungsspannung versorgt zu werden, wobei die Elektrodeneinheit (1) eine Elektrodenanordnung aufweist, die wenigstens zur Behandlungsseite (5) mit einem flächigen Dielektrikum (2) abgeschirmt ist, erlaubt die Verwendung unterschiedlicher Elektrodeneinheiten (1) mit derselben Versorgungseinheit (10) dadurch, dass die Elektrodeneinheit (1) eine Codierung und die Versorgungseinheit (10) eine Erkennungseinrichtung für die Codierung aufweist und die Erkennungseinrichtung mit einer Steuereinrichtung verbunden ist, die in Abhängigkeit von der erkannten Codierung die Versorgungsspannung für die Plasmaerzeugung steuert.The invention relates to a plasma treatment device for carrying out a dielectric barrier plasma discharge, comprising an electrode unit (1), which has a treatment side (5), and comprising a supply unit (10), to which the electrode unit (1) can be mechanically connected and by means of which the electrode unit can be brought into electrical contact in order to be supplied with a supply voltage necessary for the plasma generation, wherein the electrode unit (1) has an electrode arrangement, which is shielded by means of a planar dielectric (2) at least toward the treatment side (5), enables the use of different electrode units (1) with the same supply unit (10) in that the electrode unit (1) has a coding and the supply unit (10) has an identifying device for the coding and the identifying device is connected to a control device, which controls the supply voltage for the plasma generation in accordance with the identified coding.L'invention concerne un dispositif de traitement au plasma, destiné à réaliser une décharge de plasma blo
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

意 见 箱

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