PROBLEM TO BE SOLVED: To form a phase contrast image by projection or tomographing by a phase grating which forms an interference pattern as clear as possible.SOLUTION: The phase grating G1 has a filling material B having a higher linear attenuation coefficient than the attenuation coefficient of a protruding line section within an applicable energy range, in a gap L between the protruding line sections S. The height of the filling material B in the gap L is set in such a manner that the energy having been utilized for the measurement of a phase shift and the X ray of a wavelength &lambda may form the phase shift of the X ray, and a beam (a) having transmitted the protruding line sections S after the phase grating may have been phase-shifted by one half wavelength to a beam b which transmits the gap L having the filling material B, and the attenuation of the X ray may become the same when passing through the protruding line sections S and when passing through the filling material B at least regarding the energy having been utilized for the measurement of the phase shift.COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT【課題】できるだけ明確な干渉パターンを生成する位相格子によって投影または断層撮影による位相コントラスト画像を作成する。【解決手段】位相格子G1がその突条部S間の間隙L内に、当該エネルギー範囲において突条部の減弱係数よりも高い線形減弱係数を持つ充填材料Bを有し、間隙L内での充填材料Bの高さは、位相シフトの測定に利用されたエネルギーおよび波長λのX線がX線の位相シフトを生成し、位相格子後に、突条部Sを透過したビーム(a)が、充填材料Bを有する間隙Lを透過するビームbに対して半波長だけ位相シフトしているように設定され、X線の減弱が、少なくとも位相シフトの測定に利用されたエネルギーに関して、突条部Sを通過する時と充填材料Bを通過する時とで同じになるように設定されている。【選択図】 図8
