PROBLEM TO BE SOLVED: To acquire image information generated by light in a wavelength band different from that of measuring light with high resolution without enlarging an optical system for scanning the measuring light, irradiating a measuring object therewith, and allowing entrance of light from the measuring object and to correlate the image information highly accurately with surface information of an optical stereographic structure image which is a measuring object.SOLUTION: In a probe 40, two parallel collimate beams from collimate lenses 451, 452 on emission ends of fibers FB1, FB2 are made incident on one condensing lens 460, then reflected by a deflection rotation mirror 470, condensed on the same point to irradiate a measuring object T. The deflection rotation mirror 470 is rotated by a motor 480, and thereby a condensing point of measuring light L1 and visible light La is scanned. The fibers FB1, FB2 of the probe 40 guide each return light L4, L3 from the measuring object T when the visible light La and the measuring light L1 are made to irradiate the measuring object T.COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT【課題】測定光を走査して測定対象に照射し測定対象からの光を入射する光学系を大型化することなく、測定光とは異なる波長帯域の光による画像情報を高解像度で取得し、かつ該画像情報を測定対象の光立体構造像の表面情報に高精度にて対応させる。【解決手段】プローブ40では、ファイバFB1、FB2の出射端のコリメートレンズ451、452からの2本の平行なコリメートビームは、ひとつの集光レンズ460に入射し、次に偏向回転ミラー470で反射され、同一の点に集光されて測定対象Tに照射される。偏向回転ミラー470は、モータ480により回転し、それにより測定光L1、及び可視光Laの集光点が走査される。プローブ40のファイバFB1、FBは、可視光La及び測定光L1が測定対象Tに照射されたときの測定対象Tからのそれぞれの戻り光L4、L3を導光する。【選択図】図2
