HORI YOSHIJI,堀 能士,MORIYAMA KUNIO,森山 國夫,IWAMOTO TOMOHISA,岩本 朋久,TADOKORO MASAHIRO,田所 昌宏
申请号：
JP2013164438
公开号：
JP2015033402A
申请日:
2013.08.07
申请国别(地区):
JP
年份:
2015
代理人:
摘要：
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a beam monitor system capable of performing accurate position identification and improving accuracy of a determination as appropriate irradiation.SOLUTION: The beam monitor system includes a plurality of groups each defining a plurality of wire electrodes in which charge collection electrodes are adjacent to each other, as one group. Each wire electrode is connected to a channel of a signal processing device in such a manner that at least two channels are not physically continued, for all the wire electrodes and continuous measurement channels which are collected at a certain degree, by wires as many as the wire electrodes belonging to the group so as to input from the same wiring a detection signal outputted from one wire electrode selected from among the groups. Further, a signal processing device 22 calculates group information indicating the group to which the wire electrode that outputs an inputted detection signal belongs, outputs a processing signal including the group information to a beam monitor control device and calculates a position and a beam width of a charged particle beam passing through the wire electrode.COPYRIGHT: (C)2015,JPO&INPIT【課題】正確な位置特定を行うことができ、適切な照射であるという判断を高精度化することができるビームモニタシステムを提供する。【解決手段】ビームモニタシステムは、電荷収集電極が隣り合う複数のワイヤ電極を一つのグループとした複数のグループで構成される。また、グループの各々から選択された一つのワイヤ電極から出力される検出信号を同一の配線から入力するように、グループに属するワイヤ電極と同数の配線によって全てのワイヤ電極と、あるまとまった連続する計測チャンネルに対して、少なくとも2チャンネルは物理的に連続しないように信号処理装置のチャンネルに接続する。さらに、信号処理装置22は、入力された検出信号がいずれのグループに属するワイヤ電極の検出信号であるかを示すグループ情報を求め、グループ情報を含む処理信号をビームモニタ制御装置に出力し、ワイヤ電極を通過した荷電粒子ビームの位置およびビーム幅を求める。【選択図】 図3
