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Scanning observation apparatus and image display method of scanning observation apparatus
专利权人:
オリンパス株式会社
发明人:
西村 淳一,嶋本 篤義
申请号:
JP2017507107
公开号:
JPWO2016151627A1
申请日:
2015.03.24
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要:
Provided is a scanning observation apparatus capable of more easily calibrating chromatic aberration of magnification of an illumination optical system. The illumination light is deflected by the actuator 25 and the irradiated object 32 is scanned through the illumination optical system 26, and the light from the irradiated object 32 is photoelectrically converted by the light detection unit 44 and processed by the image processing unit 46 to be displayed. In the scanning observation apparatus 10 that displays an image of the irradiated object 32 on 60, a storage unit 35 that stores optical characteristic information regarding the chromatic aberration of magnification of the illumination optical system 26 for a plurality of predetermined color lights, and color light based on the optical characteristic information A scanning locus calculation unit 45 for calculating a scanning locus on the irradiated object 32 for each irradiation object, and the image processing unit 46 draws the drawing position by the photoelectric conversion signal from the light detection unit 44 for each color light based on the scanning locus. Is calibrated to generate an image of the irradiation object 32.照明光学系の倍率色収差をより簡便に較正することが可能な走査型観察装置を提供する。 アクチュエータ25により照明光を偏向して照明光学系26を経て被照射物32を走査し、被照射物32からの光を光検出部44で光電変換して画像処理部46で処理して表示部60に被照射物32の画像を表示する走査型観察装置10において、複数の所定の色光に対する照明光学系26の倍率色収差に関する光学特性情報を格納する記憶部35と、光学特性情報に基づいて色光毎の被照射物32上での走査軌跡を演算する走査軌跡演算部45と、を備え、画像処理部46は、走査軌跡に基づいて色光毎に光検出部44からの光電変換信号による描画位置を較正して被照射物32の画像を生成する。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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