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防食性の金属とMo又はMo合金を拡散接合したバッキングプレート、及び該バッキングプレートを備えたスパッタリングターゲット−バッキングプレート組立体
- 专利权人:
- JX金属株式会社
- 发明人:
- 高村 博,鈴木 了
- 申请号:
- JP20160538263
- 公开号:
- JPWO2016017432(A1)
- 申请日:
- 2015.07.16
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要:
- 防食性の金属とMo又はMo合金を接合したバッキングプレートであって、当該Mo又はMo合金製バッキングプレートの冷却する側(冷却面側)の表面に、バッキングプレートの総厚の1/40〜1/8の厚みを有するCu、Al又はTiから選択した一種以上の金属又はこれらの合金を接合した防食性の金属からなる層を備えるバッキングプレートを提供する。さらに、このMo又はMo合金製バッキングプレートと、低熱膨張材料からなるターゲットを接合したスパッタリングターゲット−バッキングプレート組立体を提供する。特に、半導体用途では、微細化が進みスパッタリング時のパーティクルの管理が非常に厳しくなっている。本願発明は、低熱膨張材料からなるスパッタリングターゲットの反りと、Mo又はMo合金製バッキングプレートの
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/