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防食性の金属とＭｏ又はＭｏ合金を拡散接合したバッキングプレート、及び該バッキングプレートを備えたスパッタリングターゲット−バッキングプレート組立体
- 专利权人:
- ＪＸ金属株式会社
- 发明人:
- 高村 博,鈴木 了
- 申请号：
- JP20160538263
- 公开号：
- JPWO2016017432(A1)
- 申请日:
- 2015.07.16
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 防食性の金属とＭｏ又はＭｏ合金を接合したバッキングプレートであって、当該Ｍｏ又はＭｏ合金製バッキングプレートの冷却する側（冷却面側）の表面に、バッキングプレートの総厚の１／４０〜１／８の厚みを有するＣｕ、Ａｌ又はＴｉから選択した一種以上の金属又はこれらの合金を接合した防食性の金属からなる層を備えるバッキングプレートを提供する。さらに、このＭｏ又はＭｏ合金製バッキングプレートと、低熱膨張材料からなるターゲットを接合したスパッタリングターゲット−バッキングプレート組立体を提供する。特に、半導体用途では、微細化が進みスパッタリング時のパーティクルの管理が非常に厳しくなっている。本願発明は、低熱膨張材料からなるスパッタリングターゲットの反りと、Ｍｏ又はＭｏ合金製バッキングプレートの
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
