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광도파 효율이 개선된 광도파 부재를 구비한 신경 탐침 구조체 및 그 제조방법
专利权人:
KOREA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人:
CHO, IL JOO,조일주,YOON, EUI SUNG,윤의성,LEE, HYUN JOO,이현주,SON, YOO JIN,손유진
申请号:
KR1020130144043
公开号:
KR1014615250000B1
申请日:
2013.11.25
申请国别(地区):
KR
年份:
2014
代理人:
摘要:
A neural probe array includes a probe body inserted into a testee, a fixing body supporting the back end of the probe body, a cladding extended in the longitudinal direction of the probe body in the upper end of the probe body, and an optical waveguide member which is buried along the cladding in the upper end of the cladding. The cladding is buried in a concave groove formed in the upper end of the probe body. A method for manufacturing a neural probe array includes a step of forming a groove in the upper end of a first substrate, a step of burying the groove with the cladding, a step of forming an optical waveguide member along the cladding in the upper end of the cladding, and a step of forming the probe body by cutting the first substrate.신경 탐침 구조체는 피실험체 내부로 삽입되는 탐침 몸체와, 탐침 몸체의 후단을 지지하는 고정 몸체와, 탐침 몸체의 상단에서 탐침 몸체의 길이방향으로 연장되는 클래딩 및 클래딩의 상단에서 클래딩을 따라 배설되는 광도파 부재를 포함하고, 클래딩이 상기 탐침 몸체의 상단에 오목하게 형성된 홈에 매입되어 있다. 신경 탐침 구조체의 제조 방법은, 제1기판 상단에 홈을 형성하는 단계와, 홈에 상기 클래딩을 매입하는 단계와, 클래딩 상단에 클래딩을 따라 광도파 부재를 형성하는 단계 및 상기 제1기판을 절단하여 상기 탐침 몸체를 형성하는 단계를 포함한다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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