wavefront sensor that uses the actual position sensor (122) to determine the centroid deflection value calibration wave generator for calculating a correction factor to be applied to ratiometric combination of the output signals (199/299) disclose.実際のセントロイド偏向値を決定すべく位置センサー(122)出力信号のレシオメトリックな組み合わせに適用される補正因子を計算するために較正波発生器(199/299)を使用する波面センサーを開示する。