Medical devices having a coating that comprises one or more inorganic coating layers. The inorganic coating layer may be formed by a self-limiting deposition process, such as atomic layer deposition. The inorganic coating layer may have a thickness of less than 30 nm. The inorganic coating layer may also be used in combination with a therapeutic agent as a control release barrier. The inorganic coating layer may have various desirable properties, including, for example, resistance to cracking or delamination, high degree of uniformity, high degree of conformality, and/or compatibility with low deposition temperatures.Linvention concerne des dispositifs médicaux ayant un revêtement comprenant une ou plusieurs couches de revêtement inorganiques. La couche de revêtement inorganique peut être formée par un procédé de dépôt autolimité, tel que le dépôt de couches atomiques. La couche de revêtement inorganique peut avoir une épaisseur de moins de 30 nm. La couche de revêtement inorganique peut également être utilisée en association avec un agent thérapeutique comme barrière à libération contrôlée. La couche de revêtement inorganique peut avoir plusieurs propriétés souhaitées, notamment, par exemple, une résistance au craquage ou au délaminage, un haut degré duniformité, un haut degré de conformalité et/ou une compatibilité avec de faibles températures de dépôt.