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Electrode apparatus for dielectric barrier plasma treatment and method for surface plasma treatment
专利权人:
シノギー・ゲーエムベーハー
发明人:
バントケ、ディルク,ゼグル、マクシミリアン,トルトビヒ、レオンハルト
申请号:
JP2012545088
公开号:
JP2013515516A
申请日:
2010.12.22
申请国别(地区):
JP
年份:
2013
代理人:
摘要:
The invention relates to an electrode arrangement for a dielectric barrier discharge plasma treatment of an irregularly three-dimensionally shaped surface of an electrically conducting body used as a counter electrode, comprising a planar electrode (1) and a dielectric (2, 3), which is designed to be arranged at a defined distance from the surface to be treated in order to form a cold plasma, wherein said arrangement can be produced in a simple manner and can be reliably designed in the use thereof in that the dielectric (2, 3) is formed by a flexible planar material, which is provided with a structure (4) on the side of the flexible planar material facing the surface to be treated in order to form air guiding areas (7) when the dielectric (2, 3) lies on the surface to be treated, and in that the planar electrode is flexible and Is fastened to the dielectric (2, 3) in such a way that a layer (2) of the dielectric (2, 3) shields the electrode (1) from the surface to be treated.導電性のボディの、対向電極として使用される不規則的に3次元に成形された表面を、誘電体バリア式にプラズマ処理するための電極装置であって、平らな電極(1)と、冷温プラズマを形成するために、処置される表面から所定の間隔をあけて設けるようにデザインされている誘電体(2,3)と、を有する電極装置は、容易に製造され、かつ、応用では、誘電体(2,3)は、可撓性のある平らな材料によって形成されており、該材料は、誘電体(2,3)が処置される表面上に載っているときに、空気流領域(7)を形成するために、処置される表面を示す側に構造体(4)を備えていること、および、平らな電極(1)は、可撓性をもって形成されており、誘電体(2,3)の層(2)が電極(1)を処置される表面から保護するように、誘電体(2,3)に取り付けられていることによって、確実に形成される。【選択図】 図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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