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流体制御装置
专利权人:
MURATA MANUFACTURING CO.; LTD.
发明人:
TAKEUCHI, Susumu,竹内進,KURIHARA, Kiyoshi,栗原潔
申请号:
JPJP2016/065237
公开号:
WO2016/190289A1
申请日:
2016.05.24
申请国别(地区):
WO
年份:
2016
代理人:
摘要:
This fluid control device (100) is provided with a vessel (9) and a passive valve (101). A vacuum source (10) has a suction hole (14). The vessel (9) includes a first connecting hole (91), a second connecting hole (92), a third connecting hole (93), a storage chamber (195) and a water sealing chamber (196). The passive valve (101) includes a first valve housing (191), a second valve housing (192) and a diaphragm (120). The first valve housing (191) and the second valve housing (192) are provided with a first ventilation hole (111), a second ventilation hole (112) and a third ventilation hole (113). The first ventilation hole (111) in the passive valve (101) communicates with the second connecting hole (92) in the vessel (9). The second ventilation hole (112) in the passive valve (101) communicates with the suction hole (14) in the vacuum source (10). The third ventilation hole (113) is open to the atmosphere. The diaphragm (120) is sandwiched between the first valve housing (191) and the second valve housing (192), to form a first region and a second region.Linvention concerne un dispositif de régulation de fluide (100) qui comprend un récipient (9) et une soupape passive (101). Une source de vide (10) a un trou daspiration (14). Le récipient (9) comprend un premier trou de liaison (91), un deuxième trou de liaison (92), un troisième trou de liaison (93), une chambre de stockage (195) et une chambre détanchéité à leau (196). La soupape passive (101) comprend un premier logement de soupape (191), un second logement de soupape (192) et une membrane (120). Le premier logement de soupape (191) et le second logement de soupape (192) comportent un premier trou de ventilation (111), un deuxième trou de ventilation (112) et un troisième trou de ventilation (113). Le premier trou de ventilation (111) dans la soupape passive (101) communique avec le deuxième trou de liaison (92) dans le récipient (9). Le deuxième trou de ventilation (112) dans la soupape passive (101) communi
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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