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RADIATION DETECTION ELEMENT SUBSTRATE, INSPECTION DEVICE FOR RADIATION DETECTION ELEMENT SUBSTRATE AND METHOD FOR INSPECTING RADIATION DETECTION ELEMENT SUBSTRATE
专利权人:
FUJIFILM CORP;富士フイルム株式会社
发明人:
ITO TAKAAKI,伊藤 孝明,OKADA YOSHIHIRO,岡田 美広
申请号:
JP2014132818
公开号:
JP2015043563A
申请日:
2014.06.27
申请国别(地区):
JP
年份:
2015
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a radiation detection element substrate capable of inspecting a radiation detection element substrate having a plurality of transistors in one pixel without drastically adding or changing of the inspection device for the radiation detection element substrate having one transistor in one pixel, an inspection device for the radiation detection element substrate, and a method for inspecting the radiation detection element substrate.SOLUTION: A connection wiring part 22 for inspection in which control wirings M extend to the outside than a mounting substrate and are connected to each other, is provided. The gate off voltage is applied to wiring terminals 24 at one time, connected to the connection wiring part 22 for inspection, to perform the inspection.【課題】1画素に1つのトランジスタを有する放射線検出素子基板の検査用の検査装置に対して、大きな追加変更を行うことなく、1画素に複数のトランジスタを有する放射線検出素子基板の検査を行うことが可能な放射線検出素子基板、放射線検出素子基板の検査装置、及び放射線検出素子基板の検査方法を提供することを目的とする。【解決手段】実装基板よりも外側の領域まで、制御配線Mを延長して、互いに結線する検査用接続配線部22を設けている。そして、検査用接続配線部22に接続された結線端子24にゲートオフ電圧を一括して印加して、検査を行う。【選択図】図4
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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