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一种运行平稳的硅片移栽装置
- 专利权人:
- 江西宝群电子科技有限公司
- 发明人:
- 张志康,曹兴安,丁贵英
- 申请号：
- CN201820089466.7
- 公开号：
- CN208093528U
- 申请日:
- 2018.01.19
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 本实用新型涉及一种运行平稳的硅片移栽装置。目前，大多生产硅片的企业都是采用手工方式搬运，将硅片逐个插入硅片篮，然后人工将片篮搬运至清洗设备上，由于硅片很薄，在搬运过程中很容易刮伤人员，加上手工搬运用力不均。本实用新型涉及一种运行平稳的硅片移栽装置，其中：所述伺服电机驱动同步带轮和第一齿轮转动，驱动第一齿轮与第一X轴上的齿条啮合，同时带动第二同步带轮通过同步带带动第一同步带轮，从而带动第三齿轮。本装置采用电机带动齿轮和同步轮，同时能同步的驱动另一边的X轴齿轮齿条啮合，实现驱动第一X轴和第二X轴上的滑块同步前进后退，实现Y轴的平稳移栽，同时通过Z轴上的气爪、摆台、和电缸来任意调整片篮所需要的姿态。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
