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光画像計測装置及び偏波コントローラ
专利权人:
株式会社トプコン
发明人:
町田 和敏,藤井 宏太
申请号:
JP2012064370
公开号:
JP5936893B2
申请日:
2012.03.21
申请国别(地区):
JP
年份:
2016
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To simplify an operation for adjusting a polarization state.SOLUTION: The optical image measurement device is configured to comprise: dividing light from a light source into signal light and reference light generating interference light of the signal light and the reference light via a measured object and forming an image of the measured object on the basis of a detection result of the interference light. The optical image measurement device includes: a first optical fiber that guides the signal light via the measured object a second optical fiber that guides the reference light and a polarization controller. The polarization controller holds a part of one or both of the first optical fiber and the second optical fiber in a curved shape, and by changing the curved shape, the polarization state of the light to be guided to the optical fiber is changed.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】偏光状態を調整する作業の容易化を図る。【解決手段】光画像計測装置は、光源からの光を信号光と参照光とに分割し、被測定物体を経由した信号光と参照光との干渉光を生成し、干渉光の検出結果に基づいて被測定物体の画像を形成する。光画像計測装置は、被測定物体を経由した信号光を導く第1の光ファイバと、参照光を導く第2の光ファイバと、偏波コントローラとを有する。偏波コントローラは、第1の光ファイバ及び第2の光ファイバの一方又は双方について、当該光ファイバの一部を曲線形状に保持し、この曲線形状を変化させることにより当該光ファイバに導かれる光の偏光状態を変化させる。【選択図】図4
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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