PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an element 20 with stable characteristics.SOLUTION: An element 20 includes: a silicon substrate 11 a lower electrode layer 12 that has multiple lower electrode parts 12A and multiple lower wiring parts 12B for connecting the multiple lower electrode parts 12A and to which a DC voltage is applied an upper electrode layer 16 to be ground potential, having multiple upper electrode parts 16A arranged to face the respective lower electrode parts 12A via a cavity 14 and multiple upper wiring parts 16B for connecting the multiple upper electrode parts 16A and a capacitor 60 serially connected to one of the lower electrode layer 12 and the upper electrode layer 16.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】特性が安定したエレメント20を提供する。【解決手段】エレメント20は、シリコン基板11と、複数の下部電極部12Aと複数の下部電極部12Aを接続する複数の下部配線部12Bとを有する直流電圧が印加される下部電極層12と、それぞれのキャビティ14を介して、それぞれの下部電極部12Aと対向配置している複数の上部電極部16Aと複数の上部電極部16Aを接続する複数の上部配線部16Bとを有する接地電位となる上部電極層16と、下部電極層12または上部電極層16の少なくともいずれかと直列接続されたコンデンサ60と、を具備する。【選択図】図6
