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柔性复合型干电极及其制备方法
- 专利权人:
- 上海交通大学
- 发明人:
- 刘景全,彭慧玲,杨斌,陈翔,杨春生
- 申请号：
- CN201410778597.2
- 公开号：
- CN104510466B
- 申请日:
- 2014.12.15
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供了一种柔性复合型干电极及其制备方法，所述电极包括：电极支持层、电极点和电极导线连接点；所述方法步骤包括：1)以玻璃为基底；2)在玻璃基底上沉积Parylene C薄膜；3)溅射Cr/Cu种子层；4)种子层上旋涂正型光刻胶，曝光，显影，图形化光刻胶层；5)电镀Ag；6)旋涂光刻胶，曝光，显影，图形化光刻胶层；7)阳极氧化法将Ag氯化，生成AgCl；8)除去光刻胶；9)从玻璃基底取下电极。本发明是一种柔性薄膜型电极，能与皮肤很好的贴合，不仅能增大电极和皮肤接触的有小面积，而且还能抵抗运动伪迹的干扰。本发明兼具干电极和湿电极的优点，可以高质量的记录生理电信号，尤其适用于可穿戴设备。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
