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干渉計及び被検体情報取得システム
专利权人:
CANON INC
发明人:
NAKAMURA TAKASHI,中村 高士,KONDO TAKASHI,近藤 剛史
申请号:
JP2013267150
公开号:
JP2014142338A
申请日:
2013.12.25
申请国别(地区):
JP
年份:
2014
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an interferometer that is able to acquire analyte information by scanning an analyte, the interferometer being able to achieve analyte scan practically desirable, and to provide analyte information acquisition system that has the interferometer.SOLUTION: An interferometer 100 comprises: a diffraction grating 2 configured to form a first pattern by diffracting an X ray and a block grating configured to form a second pattern by blocking part of an X ray forming the first pattern. The interferometer further comprises: a detector 4 configured to detect an X ray from the block grating and detect information about the second pattern and scanning means 11 configured to change the relative position of a measurement range of the detecting range of the detector, within which analyte information can be acquired, and the analyte. The detector carries out first and second detection. The scanning means changes the relative position of the measurement range and the analyte such that the pattern of a first detection result and the pattern of a second detection result are continuous.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】 被検体を走査することで被検体の情報を取得することが可能な干渉計において、実用上望ましい被検体の走査が可能な干渉計を提供すること。また、該干渉計を備える被検体情報取得システムを提供すること。【解決手段】 干渉計100は、X線を回折して第1のパターンを形成する回折格子2と、第1のパターンを形成するX線の一部を遮蔽して第2のパターンを形成する遮蔽格子を備える。更に、遮蔽格子からのX線を検出して第2のパターンの情報を検出する検出器4と、検出器の検出範囲のうち被検体情報が取得できる計測範囲と被検体との相対位置を変化させる走査手段11を備える。検出器は、第1と第2の検出を行う。走査手段は、第1の検出結果のパターンと第2の検出結果のパターンとが連続性を有するように、計測範囲と被検体との相対位置を変化させる。【選択図】 図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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