PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a detector, particularly a stacked type detector, that is required to have a smaller pixel pitch and more pixels, and that can achieve low noise with further reduced signal line capacitance, and high driving speed with a further reduced time constant of drive lines.SOLUTION: A detector includes: a plurality of pixels 102 arranged in rows and columns, each of which includes a conversion element 104 for converting radiation or light into electric charge and a switching element 105 a drive line 107 connected to a plurality of switching elements 105 in the rows and a signal line 108 connected to a plurality of switching elements 105 in the columns, with the conversion element 104 placed above the switching element 105. The signal line 108 comprises a conductive layer 202 that is buried and formed in an insulation member in a layer below the top surface of a main electrode of the switching element 105. This switching element 105 is placed below the top surface of the drive line 107 that is placed below the conversion element 104.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】 更なる小画素ピッチ化及び多画素化が求められる検出装置、特に、積層型の検出装置において、信号線容量の更なる低減による低ノイズ化及び駆動線の時定数の更なる低減による高速駆動化が可能な検出装置を提供する。【解決手段】 放射線又は光を電荷に変換する変換素子104と、スイッチ素子105と、を含み、行方向及び列方向に配列された複数の画素102と、行方向の複数のスイッチ素子105に接続された駆動線107と、列方向の複数のスイッチ素子105に接続された信号線108と、を有し、変換素子104がスイッチ素子105の上方に配置された検出装置であって、信号線108は、変換素子104の下方に配置された駆動線107の最上位表面よりも下方に配置されたスイッチ素子105の主電極の最上位表面よりも下層の絶縁部材に埋め込んで形成された導電層202からなることを特徴とする。【選択図】 図2
