재단법인대구경북과학기술원;DAEGU GYEONGBUK INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人:
JANG, JAE EUN,장재은,JUN, BYOUNG OK,전병옥,CHOI, HONG SOO,최홍수,JANG, JAE EUNKR,JUN, BYOUNG OKKR,CHOI, HONG SOOKR
申请号：
KR1020140042963
公开号：
KR1020150117472A
申请日:
2014.04.10
申请国别(地区):
KR
年份:
2015
代理人:
摘要：
The present invention relates to a probe, and a method for manufacturing the probe. The probe: has a complex structure of nanoneedles and micropillars； can be connected to a device operated in a micro-unit； and can be used as an invasive probe in a biotechnology field having curves. According to an embodiment of the present invention, a nano-micro probe comprises: a substrate which is bent when an external force is applied； at least one pair of micropillars formed on one side of the substrate at predetermined intervals which are narrower or wider than the intended intervals according to the bending of the substrate； and nanoneedles, each of which is formed on the pair of micropillars.본 발명은 나노 니들과 마이크로 필러의 복합 구조로 이루어져, 마이크로 단위로 연동하는 장치와 연결이 가능하고, 굴곡이 있는 바이오 분야의 침습용 프루브로 사용할 수 있는 프루브 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시 예에 따른 마이크로-나노 프루브는, 외력이 작용하는 경우 구부러지는 기판； 상기 기판의 일면에 소정의 간격으로 형성되며, 상기 기판의 구부러짐에 따라 간격이 좁아지거나 넓어지는 적어도 한 쌍의 마이크로 필러； 및 상기 한 쌍의 마이크로 필러 상에 각각 형성되는 나노 니들을 포함한다.
