PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a radiation detector with high emission utilization efficiency, which achieves easy manufacturing and a high yield.SOLUTION: A manufacturing method of a radiation detector includes: a scintillator-part forming process of arranging scintillator-part forming masks 5 on a sensor substrate 1, so as to form a plurality of scintillator parts 6 with a scintillator material a mask removing process of removing the scintillator-part forming masks 5 and a light-shielding material film forming process of forming a light-shielding material film 8 on the sensor substrate 1 on which the plurality of scintillator parts 6 are formed after the mask removing process.SELECTED DRAWING: Figure 3COPYRIGHT: (C)2017,JPO&INPIT【課題】簡便に製造することができ、しかも歩留まりの良い、発光利用効率の高い放射線検出装置の製造方法を提供すること。【解決手段】センサ基板1上にシンチレータ部形成用マスク5を配置し、シンチレータ材料で複数のシンチレータ部6を形成するシンチレータ部形成工程と、シンチレータ部形成用マスク5を除去するマスク除去工程と、マスク除去工程の後に、複数のシンチレータ部6が形成されたセンサ基板1上に、遮光性材料膜8を形成する遮光性材料膜形成工程と、を備える。【選択図】図3
