層状ナノ粒子による薄膜の製造方法および製造装置
- 专利权人:
- 株式会社村田製作所
- 发明人:
- 野上 博生
- 申请号：
- JP20150207606
- 公开号：
- JP2017078002(A)
- 申请日:
- 2015.10.22
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】浸漬法を用いて、生産性が高い層状ナノ粒子による薄膜の製造方法および製造装置を提供すること。【解決手段】薄片状又は偏平状のナノ粒子を有機溶媒又は水中に分散させたナノ粒子分散溶液に基材を浸漬し、当該基材を引き上げることで前記基材の表面にナノ粒子の多層膜を形成する薄膜の製造方法である。ナノ粒子分散溶液は、膜厚と基材の引き上げ速度との関係において、ある引き上げ速度で膜厚が極小値を持つ溶液であり、膜厚が極小となる引き上げ速度よりも高い速度領域で基材を引き上げることにより成膜する。【選択図】 図１
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