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不純物の回収方法及び不純物の分析方法並びに液滴回収装置
- 专利权人:
- 信越半導体株式会社
- 发明人:
- 荒木 健司
- 申请号：
- JP20150212796
- 公开号：
- JP2017083334(A)
- 申请日:
- 2015.10.29
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】親水性の表面を有する基板の表面に存在する不純物を液滴により効率よく回収可能な回収方法及びその回収した液滴から不純物を分析する分析方法並びに液滴回収装置を提供する。【解決手段】不純物の回収方法は、接触させる工程と、回収する工程とを備える。接触させる工程は、親水性の表面Ｆを有する基板Ｗの表面Ｆ上の不純物を回収する薬液Ｌを表面張力により表面Ｆの上方から表面Ｆに垂れ下げて保持するとともに、薬液Ｌを表面Ｆに接触させる。回収する工程は、接触させる工程後に、表面Ｆの上方に薬液Ｌを保持するとともに、薬液Ｌを表面Ｆに接触させたまま基板Ｗに対して薬液Ｌを基板Ｗの面内方向に相対的に移動させて薬液Ｌに不純物を回収する。接触させる工程は、面内方向に沿って薬液Ｌを保持して表面Ｆに薬液Ｌを線状に
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
