A method for creating and / or providing a specific radiation dose rate curve of X-ray irradiation for irradiating a substrate, wherein the method comprises creating and / or providing at least two predetermined radiation dose rate curves different from said specific radiation dose rate curve Selecting the radiation dose rate curve, and combining and / or adjusting the at least two predetermined radiation dose rate curves at a constant rate to create the specific radiation dose rate curve. A method characterized by creating and / or providing a curve. [Selection] Figure 4基質に照射するためのＸ線照射の特定の放射線量率曲線を作成及び／又は提供する方法であって、作成及び／又は提供される前記特定の放射線量率曲線とは異なる少なくとも２つの所定の放射線量率曲線を選択し、並びに前記少なくとも２つの所定の放射線量率曲線を一定の割合で組み合わせ及び／又は調整して前記特定の放射線量率曲線を作成することによって、前記特定の放射線量率曲線を作成及び／又は提供することを特徴とする、方法。【選択図】図４
