A method of metering supply of hydrogen peroxide gas to an emptied chamber is disclosed. The method includes continuously monitoring pressure within the sterilization chamber； Evacuating the passageway by connecting a passage of a known volume to the emptied chamber； Sealing said passageway； Coupling the passageway to a source of hydrogen peroxide solution for a time sufficient to draw the hydrogen peroxide solution into the evacuated passageway and fill the passageway； Sealing said passageway； And repeating these steps until a preselected pressure increase in the sterilization chamber is sensed. The pressure increase is preferably 19 Torr. The known volume of metering passages is preferably between 75 [mu] L and 15 [mu] L to control the unnecessary condensation of hydrogen peroxide in the sterilization chamber. Costly peroxide concentration measurement systems are replaced by economical low cost pressure sensors for controlling the concentration of hydrogen peroxide.비워진 살균 챔버에 대한 과산화수소 가스의 계량 공급 방법이 개시되어 있다. 이 방법은 살균 챔버 내의 압력을 계속 모니터하는 단계； 알려진 볼륨의 통로를 비워진 챔버에 연결하여 상기 통로를 비우는 단계； 상기 통로를 밀폐시키는 단계； 상기 비워진 통로에 과산화수소 용액을 끌어들여서 상기 통로를 채우기에 충분한 시간 동안, 상기 통로를 과산화수소 용액의 공급원에 연결하는 단계； 상기 통로를 밀폐시키는 단계； 및 상기 살균 챔버 내에서 미리 선택된 압력 증가가 감지될 때까지 이러한 단계들을 반복하는 단계를 포함한다. 상기 압력 증가는 19 토르인 것이 바람직하다. 계량 통로의 알려진 볼륨은 살균 챔버 내의 과산화수소의 불필요한 응축을 제어하기 위해 75 μL와 15 μL 사이인 것이 바람직하다. 값비싼 과산화물 농도 측정 시스템들이 과산화수소 농도를 제어하기 위한 경제적인 저비용 압력 센서로 대체된다.
