An X-ray inspection apparatus (100) is provided with: an X-ray source (3), which radiates X-rays to a substrate (P)； a shield wall (5), which is provided to cover a region above a base (1), said region including the X-ray source (3), and which blocks the X-rays； a substrate transfer section (2), which passes through the region covered with the shield wall (5), and which transfers the substrate (P)； and an outer cover (6), which is provided outside of the shield wall (5), and covers the substrate transfer section (2). The outer cover (6) can be removed by being separated from the shield wall (5), while having the shield wall (5) remain attached to the base (1). Consequently, the X-ray shield member is prevented from being wasted at the time of replacing the outer cover, and degree of freedom in appearance design of the X-ray inspection apparatus (100) can be improved.L'invention concerne un appareil d'inspection à rayons X (100) comprenant : une source de rayons X (3), rayonnant des rayons X sur un substrat (P) ； une paroi de protection (5), disposée pour couvrir une région au-dessus d'une base (1), cette région comprenant la source de rayons X (3), et bloquant les rayons X ； une section de transfert de substrat (2), passant à travers la région couverte par la paroi de protection (5) et transférant le substrat (P) ； et un couvercle extérieur (6), disposé à l'extérieur de la paroi de protection (5) et couvrant la section de transfert de substrat (2). Le couvercle extérieur (6) peut être retiré par séparation de la paroi de protection (5), la paroi de protection (5) restant attachée à la base (1). Par conséquent, l'élément de protection des rayons X évite d'être gaspillé au moment du remplacement du couvercle extérieur, et le degré de liberté dans la conception de l'aspect du dispositif d'inspection à rayons X (100) peut être amélioré.Ｘ線検査装置１００は、基板ＰにＸ線を照射するＸ線源３と、Ｘ線源３を含む基台１の上方領域を覆うように設けられ、Ｘ線を遮蔽する遮蔽壁５と、遮蔽壁５に覆われた領域を通り、基板Ｐを搬送する基板搬送部２と、遮蔽壁５の外側に設けられ、基板搬送部２を覆う外装カバー６とを備える。外装カバ
