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ULTRASONIC TRANSDUCER, ULTRASONIC PROBE, ULTRASONIC DEVICE, MANUFACTURING METHOD FOR ULTRASONIC TRANSDUCER, AND VIBRATION DEVICE
专利权人:
SEIKO EPSON CORP;セイコーエプソン株式会社
发明人:
KOJIMA CHIKARA,小島 力,OHASHI KOJI,大橋 幸司
申请号:
JP2016020036
公开号:
JP2017139651A
申请日:
2016.02.04
申请国别(地区):
JP
年份:
2017
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic transducer having high efficiency of transmission and reception of an ultrasonic wave and being excellent in mass productivity, and an ultrasonic probe, an ultrasonic device, a manufacturing method for the ultrasonic transducer and a vibration device.SOLUTION: An ultrasonic wave sensor comprises: a substrate 411 formed with an opening 411A; a vibration film 412 provided on the substrate 411 so as to cover the opening 411A; a plurality of piezoelectric elements 413 being elements executing at least any of drive processing for vibration-driving the vibration film 412 and detection processing for detecting vibration of the vibration film 412, and disposed at a position where the vibration film 412 overlaps with the opening 411 in a plan view in a thickness direction of the vibration film 412; a sealing plate 42 being disposed so as to face the vibration film 412, supporting the vibration film 412, and having a surface facing the vibration film 412 being a flat surface; and suppression sections 43 being provided among the plurality of piezoelectric elements 413 adjacent to one another in the plan view, bonded to both the vibration film 412 and the sealing plate 42, and constituted of a resin material suppressing transmission of the vibration of the vibration film 412.SELECTED DRAWING: Figure 5【課題】超音波の送信や受信の効率が高く、かつ量産性も優れた超音波トランスデューサー、超音波プローブ、超音波装置、超音波トランスデューサーの製造方法、及び振動装置を提供する。【解決手段】超音波センサーは、開口部411Aが形成された基板411と、開口部411Aを塞ぐように基板411に設けられた振動膜412と、振動膜412を振動駆動させる駆動処理及び振動膜412の振動を検出する検出処理の少なくともいずれかを実施する素子であって、振動膜412の厚み方向に沿った平面視において振動膜412と開口部411とが重なる位置に複数配置された圧電素子413と、振動膜412に対向して配置されて、振動膜412を支持し、振動膜412に対向する面が平坦面である封止板42と、平面視において、隣り合う圧電素子413間に設けられ、振動膜412及び封止板42の双方に接合されて、振動膜412の振動の伝達を抑制する樹脂材料により構成された抑制部43と、を備えている。【選択図】図5
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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