The invention relates to a method for real-time monitoring of a process, comprising: performing a mass spectrometric real-time measurement of a gas mixture (4) generated in the monitored process to determine real-time mass spectrometric data (25a-c) indicative of the monitored process, evaluating the monitored process by correlating and/or calibrating the real-time mass spectrometric data (25a-c) with metrology data determined by at least one post-process metrology method for evaluating a previous process and/or by comparing the real-time mass spectrometric data (25a-c) with at least one limit value, preferably with a limit value (29) of a process window of the monitored process. The invention also relates to a mass spectrometer for performing the method.L'invention concerne un procédé de surveillance en temps réel d'un processus, comprenant les étapes consistant à : effectuer une mesure en temps réel par spectrométrie de masse d'un mélange gazeux (4) généré dans le processus surveillé pour déterminer des données de spectrométrie de masse en temps réel (25a-c) indicatives du processus surveillé, évaluer le processus surveillé par corrélation et/ou étalonnage des données de spectrométrie de masse en temps réel (25a-c) avec des données de métrologie déterminées par au moins un procédé de métrologie post-processus pour évaluer un processus précédent et/ou en comparant les données de spectrométrie de masse en temps réel (25a-c) avec au moins une valeur limite, de préférence avec une valeur limite (29) d'une fenêtre de processus du processus surveillé. L'invention concerne également un spectromètre de masse permettant de mettre en œuvre le procédé.
