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静電チャック表面の半径方向外側パッド設計
- 专利权人:
- アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
- 发明人:
- ラジ ゴヴィンダ,ヒラハラ ロバート ティー
- 申请号：
- JP20170541608
- 公开号：
- JP2018505561(A)
- 申请日:
- 2016.01.06
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 静電チャックアセンブリおよびそれを有する処理チャンバが本明細書で開示される。１つの実施形態では、前側表面と裏側表面とを接続する外側エッジを有する本体を含む静電チャックアセンブリが提供される。本体は、その中にチャック電極が配設されている。ウエハスペーシングマスクが、本体の前側表面に形成される。ウエハスペーシングマスクは、複数の細長いフィーチャを有する。細長いフィーチャは、中心から外側エッジまで半径方向に整列された長軸を有する。ウエハスペーシングマスクは、細長いフィーチャの間に画定された複数の半径方向に整列されたガス通路を有する。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
