PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent signal amplitudes in a modulation frequency band exceeding the operation range of a subtractor and a modulation circuit from being left in a feedback signal from input side of the wiring, when driving a capacitive load connected by wiring.SOLUTION: A differential signal Diff between a drive waveform signal WCOM and a feedback signal Ref is pulse-modulated, the modulated signal PWM is power-amplified by a digital power amplifier circuit 27, the power amplified modulation signal APWM is smoothed, and the drive signal COM is applied to an actuator 19 composed of a capacitive load connected by wiring 35. In the foregoing process, an inductor L and the actuator 19 are connected by the wiring 35 to form a smoothing filter 28, an inductor output signal SL output from the connection of the inductor L and the wiring 35 is passed through a compensator 29 and an attenuator 30 to obtain a feedback signal Ref to a subtractor 25, thereby allowing the attenuator 30 to attenuate the signal amplitude of a modulation frequency band fcar in the feedback signal Ref.COPYRIGHT: (C)2015,JPO&INPIT【課題】配線で接続された容量性負荷を駆動する際、配線の入力側からの帰還信号に減算器や変調回路の動作範囲を超える変調周波数帯域の信号振幅が残るのを防止する。【解決手段】駆動波形信号WCOMと帰還信号Refの差分信号Diffをパルス変調し、その変調信号PWMをデジタル電力増幅回路27で電力増幅し、その電力増幅変調信号APWMを平滑化して、配線35で接続された容量性負荷からなるアクチュエーター19に駆動信号COMを印加する場合に、インダクタLとアクチュエーター19とを配線35で接続して平滑フィルター28とし、インダクタLと配線35との接続部から出力されるインダクタ出力信号SLを、補償器29及び減衰器30に通過させてから減算器25への帰還信号Refとすることにより、帰還信号Ref中の変調周波数帯域fcarの信号振幅を減衰器30で減衰することができる。【選択図】図6
