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プラズマ電極用の電気的及び化学的に活性な吸着層
- 专利权人:
- ロータス アプライド テクノロジー エルエルシーＬＯＴＵＳ ＡＰＰＬＩＥＤ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ， ＬＬＣ;凸版印刷株式会社
- 发明人:
- エリック アール ディッキー,ブライアン ラーソン ダンフォース,今 真人
- 申请号：
- JP20160551209
- 公开号：
- JP2017514985(A)
- 申请日:
- 2015.03.02
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 基板上に薄膜を形成するシステムは、プラズマを使って、反応空間と流体連結されるプラズマ発生器内で少なくとも一つのガス前駆体を活性化させる。プラズマ発生器は少なくとも一対のプラズマ電極を用いて、前駆体ガスの少なくとも一部からプラズマが生成させるように動作し、一つのプラズマ電極は、吸着層を、実質的に保持し、プラズマ発生領域内に存在するガスの内の少なくとも一つを用いて化学的活性にする特徴を呈する、非ネイティブな導電性吸着層を有する。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
