PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic sensor capable of maintaining good acoustic properties, while achieving high density of ultrasonic sensor elements.SOLUTION: Assuming that two axes orthogonal to each other are X axis and Y axis, a plane formed by the X axis and Y axis is an XY plane, an ultrasonic sensor includes a substrate 10 along the XY plane, a plurality of spaces 12 formed in the substrate 10 in at least one of the X axis direction and Y axis direction, a diaphragm 50 provided on the substrate 10 so as to close the spaces 12, and having a first surface 50a on the substrate 10 side and a second surface 50b opposite to the first surface 50a, and piezoelectric elements 300 provided at the parts of the second surface 50b of the diaphragm 50 corresponding to the spaces 12, and transmitting and/or receiving ultrasonic waves. Some of the spaces 12 are formed in zigzag.SELECTED DRAWING: Figure 2【課題】 超音波センサー素子の高密度化を図りつつ、良好な音響特性を維持できる超音波センサーを提供する。【解決手段】 互いに直交する２つの軸をＸ軸及びＹ軸とし、Ｘ軸及びＹ軸によって形成される平面をＸＹ平面としたとき、ＸＹ平面に沿った基板１０と、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の少なくとも一方の方向に沿って基板１０に形成された複数の空間１２と、空間１２を塞ぐように基板１０上に設けられ、基板１０側の第１面５０ａと該第１面５０ａに対向する第２面５０ｂとを有する振動板５０と、振動板５０の第２面５０ｂ側のうち空間１２に対応する部分に設けられ、超音波を発信及び／又は受信する圧電素子３００と、を具備し、空間１２の少なくとも一部は、千鳥状に形成されている。【選択図】 図２
