一种微应变石墨烯传感器及其制造方法
- 专利权人:
- 北京清正泰科技术有限公司
- 发明人:
- 杨德智
- 申请号：
- CN201710785093.7
- 公开号：
- CN109425447A
- 申请日:
- 2017.04.09
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供了一种石墨烯传感器,包括:石墨烯敏感层和柔性基底层,石墨烯敏感层位于柔性基底层上,柔性基底层具有垂直贯穿柔性基底层的镂空式形变敏感区。通过设置镂空式形变敏感区,提高了石墨烯传感器的灵敏度,又能对敏感元件本身进行有效保护。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
