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光干渉断層撮影装置およびその制御方法
专利权人:
CANON INC
发明人:
FUJIMORI TOSHIYA,藤森 俊弥,SAKAKAWA YUKIO,坂川 幸雄
申请号:
JP2014199896
公开号:
JP2016067588A
申请日:
2014.09.30
申请国别(地区):
JP
年份:
2016
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical coherence tomographic apparatus which can shorten scanning time and whose cost can be suppressed.SOLUTION: An optical coherence tomographic apparatus comprises: a data acquisition unit having scanning means capable of performing scanning with measurement light in a first scanning pattern and a second scanning pattern different from the first scanning pattern on an inspection object a coherence optical system for generating a coherence signal based on coherence light obtained by allowing the measurement light through the inspection object and reference light corresponding to the measurement light to interfere with each other and tomographic image generation means for generating a tomographic image of the inspection object on the basis of the coherence signal. In the optical coherence tomographic apparatus, plane image generation means for generating a plane image of the inspection object on the basis of the coherence signal, and control means for changing at least one of the first scanning pattern and the second scanning pattern, are arranged.SELECTED DRAWING: Figure 2COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】走査時間の短縮を図ることができ、更に、装置のコストを抑えた光干渉断層撮影装置を提供する。【解決手段】被検査物上において第一の走査パターンおよび第一の走査パターンとは異なる第二の走査パターンにて測定光を走査可能な走査手段を有するデータ取得部と、被検査物を介した測定光と測定光に対応する参照光とを干渉させて得られる干渉光に基づく干渉信号を生成する干渉光学系と、干渉信号に基づいて被検査物の断層画像を生成する断層画像生成手段と、を有する光干渉断層撮影装置において、干渉信号に基づき前記被検査物の平面画像を生成する平面画像生成手段と、第一の走査パターンと第二の走査パターンの少なくとも何れかの走査パターンを変更する制御手段と、を配する。【選択図】図2
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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