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演算装置、プログラム、撮像システム
专利权人:
CANON INC
发明人:
HANDA SOICHIRO,半田 宗一郎
申请号:
JP2014074066
公开号:
JP2014239874A
申请日:
2014.03.31
申请国别(地区):
JP
年份:
2014
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an arithmetic unit, a program, and an imaging system capable of reducing an impact of a phase shift error, etc. for a spatial distribution of an average detection value of a periodic pattern, and a spatial distribution of visibility.SOLUTION: An arithmetic unit 7 calculates the information on an object to be examined using data on the object to be examined which is the information of a periodic pattern formed by the light modulated by the object to be examined. The calculation device 7 includes calculation means 710 for calculating a spatial distribution of a primary phase value and a spatial distribution of a primary measurement object value using the data on the object to be examined, calculation means 720 for calculating an error correction function using the information on the spatial distribution of the primary measurement object value and the spatial distribution of the primary phase value, and calculation means 730 for calculating a distribution of a secondary measurement object value which is a distribution correcting the distribution of the primary measurement object value using the error correction function, the distribution of the primary phase value, and the distribution of the primary measurement object value. The spatial distribution of the primary measurement object value is at least either a distribution of an average detection value or a visibility distribution of the data on the object to be examined.COPYRIGHT: (C)2015,JPO&INPIT【課題】周期パターンの平均検出値の空間分布やビジビリティの空間分布に対する位相シフト誤差等の影響を軽減することができる演算装置、プログラム、撮像システムを提供する。【解決手段】演算装置7は、被検体による変調を受けた光により形成される周期パターンの情報である被検体データを用いて被検体の情報を算出する。演算装置7は、被検体データを用いて1次位相値の空間分布と1次計測対象値の空間分布とを算出する算出手段710と、1次計測対象値の空間分布と1次位相値の空間分布との情報を用いて誤差補正関数を算出する算出手段720と、誤差補正関数と1次位相値の分布と1次計測対象値の分布とを用いて、1次計測対象値の分布を補正した分布である、2次計測対象値の分布を算出する算出手段730と、を有する。1次計測対象値の空間分布は、被検体データの、平均検出値の分布又はビジビリティ分布の少なくともいずれか一方である。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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