PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a deflection electromagnet adjustment apparatus which accurately adjusts deflection control of a charged particle beam performed by a deflection electromagnet.SOLUTION: The deflection electromagnet adjustment apparatus includes a monitor 31 to detect a scanning orbit of a charged particle beam 1 scanned by deflection electromagnets 11, 21, and a feedback controller 41 which generates correction data for obtaining a predetermined scanning orbit based on the scanning orbit and which transmits the correction data to control sections 12, 22 for controlling the deflection electromagnets 11, 21. The feedback controller 41 which determines the circularity being the degree of deviation from the perfect circle in the scanning orbit of the charged particle beam 1, and which generates correction data for making the circularity of the scanning orbit within the tolerance when the circularity is over the predetermined tolerance.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】偏向電磁石による荷電粒子ビームの偏向制御を高精度に調整する偏向電磁石調整装置を得ることを目的とする。【解決手段】偏向電磁石11、21により走査された荷電粒子ビーム1の走査軌道を検出するモニタ31と、走査軌道に基づいて所定の走査軌道になるような補正データを生成し、偏向電磁石11、21を制御する制御部12、22に補正データを送信するフィードバック制御装置41とを備えた。また、フィードバック制御装置41は、荷電粒子ビーム1の走査軌道における真円からのずれの度合いである真円度を判定し、真円度が所定の許容範囲を超えた場合に、走査軌道の真円度が許容範囲になるような補正データを生成する。【選択図】図3
