The present invention provides a device (10) for forming at an ambient atmospheric pressure a gaseous plasma comprising active species for treatment of a treatment region. The device comprises a plasma cell (12) for forming the gaseous plasma for treating the treatment region. The plasma cell comprises an inlet (16) for receiving gas from a source (18) and an outlet (20) for discharging active species generated in the cell. A dielectric substrate (22) made of a polyimide encloses around a flow path for gas conveyed from the inlet to the outlet and an electrode (26) is formed on the dielectric substrate for energising gas along the flow path to form active species. A protective coating or lining (32) is located on an inner surface of the dielectric substrate (22) for resisting reaction on the active species generated in the plasma cell (12) with the material of the dielectric substrate (22).La presente invención proporciona un dispositivo (10) para formar a una presión atmosférica ambiente un plasma gaseoso que comprende especies activas para tratamiento de una región de tratamiento. El dispositivo comprende una celda de plasma (12) para formar el plasma gaseoso para tratar la región de tratamiento. La celda de plasma comprende una entrada (16) para recibir gas de una fuente (18) y una salida (20) para descargar especies activas generadas en la celda. Un substrato dieléctrico (22) hecho de una poliimida se encierra alrededor de una trayectoria de flujo para gas transportado de la entrada hacia la salida y un electrodo (26) se forma sobre el substrato dieléctrico para energizar gas a lo largo de la trayectoria de flujo para formar especies activas. Un revestimiento o forro protector (32) se localiza sobre una superficie interior del substrato dieléctrico (22) para resistir reacción sobre las especies activas generadas en la celda de plasma (12) con el material del substrato dieléctrico (22).
