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一种曲面样品电子探针定量线扫描方法
- 专利权人:
- 鞍钢股份有限公司
- 发明人:
- 李文竹,马惠霞,严平沅,钟莉莉,黄磊,王晓峰
- 申请号：
- CN201310403292.9
- 公开号：
- CN103472082A
- 申请日:
- 2013.09.07
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2013
- 代理人:
- 赵长芳
- 摘要：
- 本发明提供一种曲面样品电子探针定量线扫描方法，用背散射电子图像找到样品分析区域，设置电镜加速电压、电子束流、束斑尺寸和面分布图最小移动步长、网格数据点阵，读取当前点坐标位置，移动下一点再读取该点坐标，直到所有网格点坐标位置全部读完；利用元素特征X射线波谱分析获得分析区域元素强度面扫描图，测试所分析元素的标准试样X射线强度，将原始计数面扫描结果X射线强度换算成浓度含量，得到定量面分布图；应用线扫描得到曲面样品的定量线扫描曲线。本发明可修正样品表面凹凸所产生的测量误差，提高检验效率和检验精度，有效解决电子探针只能分析平坦样品的问题，扩大电子探针分析的样品范围。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
