PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an imaging device and an imaging device controlling method that achieve a shortened correction cycle.SOLUTION: An imaging device includes: a light source that emits light to a target object to be examined a measurement element that includes multiple pixels arranged in a matrix for respectively performing photoelectric conversion and generates an image based on the light emitted from the light source and then reflected by the target object an accumulation control unit that controls charge accumulation and data output of the pixels independently with respect to each prescribed number of lines an aberration calculation unit that calculates an aberration produced at the target object on the basis of the image generated by the measurement element and a correction element that corrects a spatial phase of at least one of the light emitted from the light source and the light reflected by the target object. The accumulation control unit executes the charge accumulation and the data output of the pixels at a timing different for each prescribed number of the lines.SELECTED DRAWING: Figure 6COPYRIGHT: (C)2017,JPO&INPIT【課題】補正周期を短縮することができる撮像装置及び撮像装置の制御方法を提供することを課題とする。【解決手段】撮像装置は、光を被検査物に照射する光源と、各々が光電変換を行う行列状に配置された複数の画素を含み、前記光源により照射された光が前記被検査物で反射した光に基づく画像を生成する測定素子と、前記複数の画素の電荷蓄積及びデータ出力を所定数の行毎に独立して制御する蓄積制御部と、前記測定素子により生成された画像を基に、前記被検査物で発生する収差を算出する収差算出部と、前記収差算出部により算出された収差を基に、前記光源が照射する光及び前記被検査物で反射した光の少なくともいずれか一方の光の空間位相を補正する補正素子とを有し、前記蓄積制御部は、前記複数の画素の電荷蓄積及びデータ出力を所定数の行毎に異なるタイミングで行う。【選択図】図6
