一种空心金属微针及其批量制备方法
- 专利权人:
- 上海交通大学
- 发明人:
- 丁桂甫,刘龙
- 申请号：
- CN201510163902.1
- 公开号：
- CN104874098A
- 申请日:
- 2015.04.08
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供了一种空心金属微针及其批量制备方法，步骤为：(1)在基片上溅射金属种子层作为导电层；(2)导电层上电镀金属层作为释放层；(3)释放层上甩光刻胶并图形化；(4)电镀金属填充图形，制作微针第一层，随后溅射金属种子层；(5)金属种子层上甩光刻胶并图形化；(6)图形化的光刻胶适当烘胶；(7)溅射金属种子层；(8)甩光刻胶并图形化，电镀金属制作微针第二层；(9)去胶，释放微针。本发明采用微加工工艺，克服传统注射针头生产工艺难以批量制作极细针头的难题。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
